涡轮分子泵结合磁力泵的工作

    如何涡轮分子泵的工作, 单个涡轮分子泵是单个多阶段轴流式涡轮它利用高速旋转的刀片服务器提供动力传输气体抽水作为扩散泵相同。该泵是在1mbar优化分子流条件<0.0001mbar范畴,而且大多数是在超高真空范畴内的最终压力的技术。

    结合的复合分子磁力泵转子与同一分子拖动阶段涡轮叶片阶段。这种设计允许:高临界foreline压力(通常可达4mbar),在使用较小的支持泵的选择。

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